優(yōu)點(diǎn):a)分析速度高。測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素。b)X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測(cè)定中卻可看到有波長(zhǎng)變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長(zhǎng)變化用于化學(xué)位的測(cè)定。c)非破壞分析。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好。d)X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。e) 分析精密度高。f) 制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。缺點(diǎn)：a）難于作分析，故定量分析需要標(biāo)樣。b）對(duì)輕元素的靈敏度要低一些。c）容易受相互元素干擾和疊加峰影響。X熒光光譜儀有兩種基本類型：波長(zhǎng)色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF）。